15MΩ・cm 以上超纯水的标准工艺路线（自来水为原水、25℃）

预处理 → 一级 RO → 二级 RO → EDI → 抛光混床 → 终端过滤
一、预处理（保护 RO/EDI，降低负荷）
原水 → 原水箱 → 多介质过滤器（砂 / 无烟煤，除悬浮物）→ 活性炭过滤器（除余氯 / 有机物）→ 软化器（降硬度）→ 精密过滤器（5μm）

二、双级反渗透（RO，核心脱盐）
一级 RO：脱盐率≥98%，产水约 5–10μS/cm
二级 RO：pH 微调后，脱盐率≥99%，产水约 0.5–1μS/cm

三、EDI（电去离子，深度脱盐）
二级 RO 产水 → EDI 模块 → 产水15–17MΩ·cm、TOC＜20ppb

四、抛光混床（终端提纯）
EDI 产水 → 核级抛光混床 → 稳定18.2MΩ·cm（25℃）

五、终端精制（控微生物 / 颗粒）
抛光水 → 双波长 UV（除 TOC / 杀菌）→ 0.22μm 终端过滤器 → 超纯水用水点
各段典型水质（25℃）
预处理出水：SDI＜3，余氯≈0，硬度＜0.1mg/L
一级 RO：5–10μS/cm
二级 RO：0.5–1μS/cm
EDI：15–17MΩ·cm
抛光后：≥18.2MΩ・cm，TOC＜5ppb，颗粒＜0.05μm
关键设计要点
材质：全流程316L 不锈钢 / PPH/PVDF，避免离子析出
循环：终端闭环循环，防止二次污染
监控：在线电阻率、TOC、颗粒、溶氧、硅
备选 / 简化方案（视原水与指标）
传统：预处理 → 双级 RO → 混床（酸碱再生，现已少用）
高纯水（10–15MΩ・cm）：预处理 → 双级 RO → EDI（可省抛光）